氮化硅是一组具有高强度、断裂韧性、硬度、耐磨性和良好的化学和热稳定性的先进工程陶瓷板。由于具有优异的性能组合，氮化硅陶瓷基板用于各种结构应用，氮化硅陶瓷基板下游广泛应用于电源模块、散热片、LED、无线模块等。虽然氮化硅陶瓷基板是一种烧结时不会收缩的无机材料陶瓷，但是无论是烧结亦或者流延成型，都容易受到环境因素影响导致其平面度以及翘曲度超出公差值，从而影响后续的切割以及投入使用。一般的测量方法如使用百分表、塞尺一类工具施以外力氮化硅陶瓷基板就会很容易断裂或者出现划痕，更不用说使用这类测量工具无法满足氮化硅陶瓷基板平面度以及翘曲度的高精度标准，所以极志激光平面度测量仪成了氮化硅陶瓷基板测量平面度以及翘曲度的不二之选。

激光平面度翘曲度测量仪属于非接触式测量，保护氮化硅陶瓷基板免受划痕或者断裂等瑕疵的困扰。多激光平面度测量仪可以一次多工件快速测量，高精度无损测量的同时还具有快速的特性，缓解陶瓷基板工厂的生产压力。除此之外，还可实现对平面的多点扫描或线扫描，一次性数据采集后通过软件计算，实时给出平面度平整度、翘曲度误差测量判定，将人性化与智能直接展现在氮化硅陶瓷基板平面度以及翘曲度的测量上。

极志有多年的工件平面度、翘曲度、平整度等外形尺寸测量设备定制经验，可为您的工件定制专用设备，如有需求欢迎致电极志全国服务热线：020-83515319