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双激光测量晶圆厚度,精度和效率两手抓

返回列表 来源:极志测量 浏览:- 发布日期:2021-11-26 20:36:02【

我国是全球大的集成电路市场,市场占比接近五成,集成电路的基材“晶圆”存在巨大的产能缺口,也就是说晶圆的大量需求都要由进口满足。晶圆需求上涨,晶圆制造企业感受到需求以及效率不对等的压力,其中晶圆的厚度测量成为了相关企业的制作难点之一。因为制备的过程中,晶圆需要抵受机械应力,所以晶圆的厚度一般都有需求,晶圆的直径越大,重量就会越重,所需的厚度也会越大。因为晶圆经过切片之后厚度精度需要达到μm级,加上不能接触晶圆进行抛光工序之后的表面,不然晶圆表面被划伤质量等级就会下降,所以晶圆厚度测量需要使用双激光非接触厚度测量仪进行测量。

测量晶圆厚度

极志上下激光厚度测量仪采用上下两套进口激光测量系统,非接触式的测量方法避免了晶圆在厚度测量的过程中受到损伤。同时高精度激光厚度测量仪是针对晶圆片厚度检测等不透明、高精度工件厚度尺寸的快速检测所设计,可单点测量,也可以多点测量,保证测量数据精度高、测量速度快等特点,十分适用于晶圆制备企业进行厚度测量工序,如有需求欢迎致极志服务热线:020-83515319

上下激光测厚仪

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